序号

设备及主要配件名称

设备参数及说明

1

温度指标

1、温度范围：5~475 K（液氦）；80~475 K（液氮）。

2、制冷形式：需要消耗液氮或液氦。

3、控温精度：优于±100 mK。

4、*在一个探针臂前端加装温度传感器，以便实时监视探针臂与样品台的温差，避免探针臂与样品的温差过高时扎针而引入不必要的测量误差。

5、 一台336四通道温控仪，分别对样品台、防辐射屏、探针臂进行控温或测温。

6、*两次热沉设计：探针臂热沉在防辐射屏上、探针通过陶瓷片热沉在样品台上，尽可能的提高系统温度稳定性，降低探针与样品台的温差。

7、防辐射屏上安装加热器，系统可进行快速回温。

2

电测指标

1、*直流探针带镀银Guard保护设计，配合同轴电缆及三同轴接头真正实现从仪表测试端到探针的全量程Guard保护。且直流臂加装直流探针后，系统漏电流＜100fA@1V（配合带前置放大器的4200或性能相当的仪表测量）。

2、*具有带Guard保护的直流柔性探针，柔性探针在△T＜100K时无需抬针落针，可得到连续的变温测试数据。4200/B1500内置有探针台336温控仪的控制程序，可与探针台温控仪协调工作，实现变温测试时的自动测量。

3、直流探针匹配阻抗为50欧姆，为射频RF测量提供很好的匹配阻抗，同时电缆也具有与探针相同的匹配阻抗。

4、四个直流臂直流臂可实现DC-50MHz电学测试，一个光纤臂用于做光学实验。

5、一个1.25英寸的接地样品座和一个2英寸的三同轴样品座，三同轴样品座可在背部通偏压。

3

其它指标

1、真空指标：基础温度：<5 × 10^-5 Torr 。

2、分子泵组的前级泵为涡旋式干泵，抽速不小于3m³/h。

3、探针臂的可移动距离：X方向2英寸，Y方向1英寸，Z方向0.7英寸。

4、显微镜系统光学分辨率：优于4µm。照明灯采用环形光和轴型光。

5、以后可升级高温选件，最高温度675k。

6、制造商要有20年以上制造经验。

7、*本项目不接受非标定制的产品。所投标产品必须在制造商官网上有公开的产品型号及参数信息。如果所投标产品的参数优于官网公布的参数，做虚假应标处理。

4

探针台主机一台

1、4个DC-50MHz的探针臂、探针夹具及电缆

2、1个光纤臂通光波长为400到2100nm

3、带红外吸收窗口的防辐射屏

4、光学系统：放大倍数为70倍的显微镜、CCD相机、可摆动的显微镜手臂、显示器

5、样品照明：带同轴灯和环形灯

6、液氮和液氦共用的传输管线

7、一个1.25英寸的接地样品座,一个2英寸的三同轴样品座

8、培训用探针：2个25微米半径的铍铜探针

             2 个25微米半径的钨探针

             2个25微米半径的柔性钨探针

5

其它配件

1、3微米半径的钨探针 12个

2、10微米半径的柔性钨探针4个

3、50 L进口液氮杜瓦1个

4、分子泵组一台：包含分子泵、涡旋式干泵、全量程真空计、控制器和接口电缆

5、探针台和分子泵之间的连接件一套

序号

设备及主要配件名称

设备参数及说明

1

整体系统构成清单

1台半导体特性分析系统主机，

2个高分辨率中功率源测量单元，

1个电流前置放大器，

1个1KHz-10MHz 电容—电压测量单元，

1个自动测试转换模块，

1个超高速脉冲测量模块，

2个远程前置放大器/开关模块，

1个外演示装置，

2根测试线缆。

典型应用

MOSFET, BJT 晶体管，材料表征，非易失性存储设备，电阻率系数和霍尔效应测量，NBTI/PBTI，III-V 族器件，失效分析，纳米器件，二极管和pn 联结，太阳能电池，传感器，MEMS 器件，电化学，LED 和OLED

2

半导体分析仪各部分功能指标

最大电压源210V；电压源设定分辨率5μV；

▲高分辨率中功率源测量单元，最大电压 210V，最大电流100mA，最大功率2W；

▲高分辨率高功率源测量单元，最大电压 210V，最大电流1A，最大功率20W；

▲电流前置放大器，可扩展电流测量分辨率到0.1fA，精度10fA；

电容—电压模块带宽：1KHz-10MHz偏置电压：±30V

多通道开关模块主要测量：DC I-V 和C-V 自动切换；

超快速脉冲测量单元主要测量：

远程前段放大器/开关模块主要测量：DC I-V、C-V、脉冲式I-V间自动切换

3

附件、备件以及技术资料

可以执行几乎任何类型的I-V、C-V 和脉冲式I-V 表征测试。设备使用说明书及维修手册使用说明书、维修手册、部件详细清单等；

设备配备的所有软件（光盘）以及软件使用说明书；

卖方保证所提供仪器是专为买方在确定制造厂利用成熟技术制造的全新最新型产品，不涉及到专利纠纷等法律条款。关键重要器件应是国外优质产品，保证产品质量符合相应的国际标准、国家标准、行业标准。